靈活
這些高真空泵安裝在任何方向都能實現高性能運行,并且可以輕松集成到您的真空系統中。
MAGiNTEGRA 磁懸浮分子泵,體積小,安裝簡單,能夠產生清潔的高真空和超高真空。
它設計靈活,控制器安裝在側面或底部,采用創新的模塊化工業通信解決方案,系統集成更容易。
適用于工業應用,比如 PVD、顯示、光學和建筑玻璃鍍膜。
可靠
TURBOVAC MAGiNTEGRA 對于氣體具有高抽速和高壓縮比。
對如下影響不敏感:
- 工藝顆粒和灰塵
- 氣體沖擊。
無油,可確保清潔的高真空和超高真空條件。
它集成了復合型和經典型渦輪轉子級以及板載變頻器和電源。
振動低,具有高度的操作可靠性。
運行成本低
在大多數應用中免維護,具有監測和自我保護功能。