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真實(shí)測(cè)量和控制 真實(shí)測(cè)量和控制

真實(shí)測(cè)量和控制

向下滾動(dòng)

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IONIVAC

我們的 IONIVAC 真空計(jì)系列,無(wú)論是無(wú)源 (IE) 還是有源 (ITR),都能測(cè)量超高真空。這可以對(duì)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行詳細(xì)跟蹤,并控制工藝中的可變因素。

IONIVAC 熱陰極真空計(jì)的工作原理是讓熱陰極發(fā)射電子撞向陽(yáng)極,測(cè)量的氣體在這個(gè)過(guò)程中被電離。通過(guò)第三電極檢測(cè)產(chǎn)生的正離子電流,該電流反映了與壓力成比例的信號(hào)。

IONIVAC ITR 90/200 系列 ---------------------------------------------------------------------------

經(jīng)過(guò)優(yōu)化的組合變送器

IONIVAC ITR 是一款經(jīng)過(guò)優(yōu)化的組合變送器。通過(guò)將熱陰極電離傳感器(采用熱陰極電離的 Bayard Alpert 原理)與皮拉尼傳感器相結(jié)合,可實(shí)現(xiàn) 5 . 10-10 至 1000 mbar(3.75 . 10-10 至 750 torr)的真空壓力測(cè)量。

有兩種主要型號(hào)可供選擇:

  • 帶單個(gè)熱陰極燈絲的 ITR 90
  • 帶雙燈絲的 ITR 200,通過(guò)內(nèi)置冗余配置延長(zhǎng)使用壽命。如果出現(xiàn)故障,它將自動(dòng)切換燈絲,并指示燈絲出現(xiàn)故障。為了進(jìn)一步延長(zhǎng)真空計(jì)的使用壽命,可以運(yùn)行脫氣程序,從而重新增強(qiáng)燈絲的性能。
  • 從 1 . 10-10 mbar/torr 到大氣壓的連續(xù)壓力測(cè)量  
  • 緊湊型設(shè)計(jì),帶有可更換的陰極和脫氣模式
  • 可烘烤的傳感器,用于 UHV 測(cè)量
  • 提供模擬、顯示、數(shù)字和 Profibus 接口,便于安裝
  • 在 10-2 至 10-9 mbar 的典型工藝壓力范圍內(nèi)具有高重復(fù)性  
  • 通過(guò)無(wú)源測(cè)量進(jìn)行的 UHV 壓力測(cè)量,可實(shí)現(xiàn)低至 10-12 mbar/torr 的測(cè)量  

IONIVAC IE 414/IE 514 系列------------------------------------------------------------------------

UHV 測(cè)量中的主要產(chǎn)品

Leybold 萊寶的 IONIVAC IE 系列真空計(jì)是 UHV 真空測(cè)量中的主要產(chǎn)品,具有較低測(cè)量本底和較高的精度。

與 Leybold 萊寶的無(wú)源真空計(jì)控制器配合使用,可用于測(cè)量非常低壓力讀數(shù)的環(huán)境。

無(wú)源 IONIVAC IE 傳感器使用熱陰極電離技術(shù)來(lái)測(cè)量真空度。

  • IE 414 采用 Bayard Alpert 技術(shù),可在 2 . 10-11 至 e-2 mbar(1.5e-11 至 e-2 torr)的范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。
  • 要測(cè)量非常低的壓力,您需要降低 X 射線的影響。這是在我們的 IE 514 系列真空計(jì)上使用熱陰極電離提取方法來(lái)完成的。借助這種傳感器技術(shù),您可以讀取 2e-12 至 1e-4 mbar(2e-12 至 7.5e-5torr)的真空度。
標(biāo)簽:IONIVAC

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